T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范
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- 标准类型：综合团体标准
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2024-09-11
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资料介绍
本文件规定了高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范的术语和定义、场地和人员、设备、材料、加工流程、成品质量、环境保护、安全。
本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造。
本文件适用于高精度超洁净晶圆卡爪（以下简称“卡爪”）的生产制造。