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GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

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  • 标准类型
  • 标准语言:简体中文
  • 文件类型:PDF
  • 更新时间:2019-07-07
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资料介绍

本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。
本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。

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