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GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

  • 文件大小：
  • 标准类型：
  • 标准语言：简体中文
  • 文件类型：PDF
  • 更新时间：2000-07-03
  • 下载次数：
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资料介绍

本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。
　　本标准适用于掺杂剂浓度1012～1021cm-3(电阻率0.0001～10，000Ω

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