GB/T 42674-2023 光学功能薄膜 微结构厚度测试方法
- 文件大小：1.45 MB
- 标准类型：检验检测
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2023-12-15
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资料介绍
本文件描述了通过扫描电子显微镜(SEM)检测光学功能薄膜横截面微结构厚度(以下简称横截面厚度)的方法。
本文件适用于厚度不小于50 nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。
本文件适用于厚度不小于50 nm的光学功能薄膜的单层或多层结构的厚度测试。