GB/T 23611-2023 金及金合金靶材
- 文件大小：2.82 MB
- 标准类型：金属冶金
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2023-09-12
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资料介绍
本文件规定了金及金合金靶材的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。
本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材。
替代GB/T 23611-2009
本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材。
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