T/TCH 002-2022 废湿电子化学品再生液 光刻胶稀释剂

ICS 13.030.50
CCS G 17
团体标准
T/TCH 002—2022
废湿电子化学品再生液 光刻胶稀释剂
Regeneration solution of waste wet electronic chemicals Photoresist diluent
2022 - 06 - 28 发布 2022 - 07 - 01 实施
陕西省天合城市矿产开发利用促进会 发布

目次
前言 .............................................................................. II
1 范围 ................................................................................ 3
2 规范性引用文件 ...................................................................... 3
3 术语和定义 .......................................................................... 3
4 一般要求 ............................................................................ 3
5 试验方法 ............................................................................ 4
6 检验规则 ............................................................................ 4
7 包装、标志、贮存和运输 .............................................................. 5
参考文献 ........................................................................... 6
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II
前言
本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利,本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本文件由陕西省天合城市矿产开发利用促进会提出并归口。
本文件起草单位：陕西省环境科学研究院、西安石油大学、陕西高科环保科技有限公司、蒲城祥
火环保新能源有限公司、陕西明瑞资源再生有限公司。
本文件主要起草人：荆维、杨博、张保军、申斌、岳秀伟、冯铁锁、崔博、李宝锋、宋江波、鱼
涛、李金灵。
本标准为首次发布。
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废湿电子化学品再生液 光刻胶稀释剂
1 范围
本文件规定了废湿电子化学品再生液光刻胶稀释剂的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮
存及运输要求。
本文件适用于以半导体和平板显示器等制造及生产过程中所产生的废光刻胶稀释剂混合液或单一物质溶
液（丙二醇单甲醚醋酸酯等）为原料，经处理后所得的再生液。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅
该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB 12463 危险货物运输包装通用技术条件
GB 13690 化学品分类和危险性公示 通则
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB 17914 易燃易爆性商品储存养护技术条件
GB/T 3143 液体化学产品颜色测定法(Hazen单位——铂-钴色号)
GB/T 6283 化工产品中水分含量的测定卡尔·费休法（通用方法）
GB/T 6324.2 有机化工产品试验方法 第2部分:挥发性有机液体水浴上蒸发后干残渣的测定
GB/T 6678 化工产品采样总则
GB/T 6680 液体化工产品采样通则
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 9722 化学试剂 气相色谱法通则
GB/T 9724 化学试剂 pH值测定通则
SJ/T 11637 电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
湿电子化学品 wet chemicals
指微电子、光电子湿法工艺制程中使用的化工材料的统称。
3.2
再生液 regeneration solution
指湿电子化学品在使用过程中产生的废液经过一定工艺处理后，得到的具备原湿电子化学品主要功能的
再生品。
3.3
废光刻胶稀释剂溶液 waste photoresist diluent
指不同成分和配比的光刻胶稀释剂产品使用过程中产生的含有相应成分的废液。
4 一般要求
4.1 外观
常温下为透明液体，无机械杂质及悬浮物。
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4
4.2 要求
4.2.1 不同级别光刻胶稀释剂混合液应符合表1 所示技术要求。
表1 光刻胶稀释剂混合液技术要求
质量控制项目
指标要求 试验方法
再生电子级 再生工业级 再生基础级
有效成分含量/ wt.% ≥99.5 ≥99.0 ≥95.0 GB/T 9722
水分/ wt.% ≤0.1 ≤0.3 ≤0.5 GB/T 6283
蒸发残渣/wt.% ≤0.001 ≤0.01 ≤0.01 GB/T 6324.2
色度/Pt-Co 色号 ≤10 ≤10 ≤20 GB/T 3143
pH 4~8 GB/T 9724
Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、
Ni、Cu、Zn、Ag、Cd、Pb等金属离
子杂质含量/μg·kg-1
≤15 ≤40 - SJ/T 11637
4.2.2 不同级别光刻胶稀释剂单一物质溶液（丙二醇单甲醚醋酸酯等）应符合表2 所示技术要求。
表2 丙二醇单甲醚醋酸酯技术要求（1-Methoxy-2-propyl acetate, PAM）
质量控制项目
指标要求 试验方法
再生电子级 再生工业级 再生基础级
PMA含量/wt.% ≥99.5 ≥99.0 ≥95.0 GB/T 9722
水分/ wt.% ≤0.05 ≤0.1 ≤0.3 GB/T 6283
蒸发残渣/ wt.% ≤0.001 ≤0.01 ≤0.01 GB/T 6324.2
色度/Pt-Co 色号 ≤10 ≤20 ≤20 GB/T 3143
pH 4~8 GB/T 9724
Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、
Ni、Cu、Zn、Ag、Cd、Pb等金属离
子杂质含量/μg·kg-1
≤15 ≤40 - SJ/T 11637
5 试验方法
5.1 警示
试验方法规定的一些实验过程可能导致危险情况。操作者应当具备适当的安全和防护措施。
5.2 外观
常温常压条件下，将50mL待测定溶液加入100mL比色管中，室内观察应采用日光灯光源，室外观察应采
用日光光源轴向观察。
5.3 其它技术要求的检测方法见表1、表2。
6 检验规则
6.1 表1 和表2 规定的所有项目均为出厂检验项目。出厂检验应逐批进行。
6.2 光刻胶稀释剂同一种类、同等质量的产品宜为一批，或可按生产周期、生产批次组批。
6.3 采样
6.3.1 采样
产品采样应按GB/T 6678 和GB/T 6680的相关规定进行。
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6.3.2 出厂检验
出厂检验应依据表1和表2的相关参数执行。
6.4 判定规则与复检
6.4.1 由企业质检部门自行检验，并应对符合表1 相应要求的产品开具产品检验报告。
6.4.2 检验结果的判定应采用GB/T 8170 中规定的修约值比较法。若检验结果中有一项指标不符合本标
准要求时，应重新取样检验，复检数据仍不符合本标准要求时，应将此批产品判定为不合格品。
7 包装、标志、贮存和运输
光刻胶稀释剂的包装、标志、贮存和运输应满足规定如下：
—— 包装按GB 12463 的相关规定执行。包装容器避免颗粒物、水分、金属离子等混入产品，灌装过程
中在氮气保护下进行。
—— 标志按GB 13690、GB 15258 以及GB 190 的相关要求执行。
—— 贮存按GB 17914 的规定执行。
—— 运输的要求见《危险化学品安全管理条例》第五章。
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参考文献
[1]《危险化学品安全管理条例》国务院令第344号