T/CIECCPA 007-2024 半导体工业氮氧化物排放要求

本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求。
本文件适用于半导体工业氮氧化物排放。