GB∕T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
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- 标准类型：电子信息
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2021-07-02
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资料介绍
GB∕T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
标准简介
本文件规定了电容?电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容?电压法和无接触电容?电压法。本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4×1013 cm-3～8×1016 cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行，其中无接触电容?电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。
替代GB/T 14146-2009
标准简介
本文件规定了电容?电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容?电压法和无接触电容?电压法。本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4×1013 cm-3～8×1016 cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行，其中无接触电容?电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。
替代GB/T 14146-2009