GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
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- 更新时间：2019-02-02
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资料介绍
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。
本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×10ˇ17 cmˇ-3～1×10ˇ20 cmˇ-3。
本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×10ˇ17 cmˇ-3～1×10ˇ20 cmˇ-3。