GB/T 42721-2023 电子特气 一氧化氮

本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。