GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法

本文件规定了碳化硅单晶位错密度的测试方法。
本文件适用于晶面偏离面、偏向<11?2 0>方向0°～8°的碳化硅单晶位错密度的测试。