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GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性

  • 文件大小：8.95 MB
  • 标准类型：机械标准
  • 标准语言：中文版
  • 文件类型：PDF文档
  • 更新时间：2023-04-04
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资料介绍

本文件规定了相移干涉法（PSI）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。

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