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P型阶梯掺杂4H-SiC多层薄膜同质外延﹢生长研究

  • 文件大小：1.87 MB
  • 标准类型：电力技术
  • 标准语言：中文版
  • 文件类型：PDF文档
  • 更新时间：2021-02-20
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