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T/GVS 014-2024 半导体设备用低温泵评价规范

  • 文件大小：862.62 KB
  • 标准类型：综合团体标准
  • 标准语言：中文版
  • 文件类型：PDF文档
  • 更新时间：2024-09-12
  • 下载次数：
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资料介绍

本文件规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果。
本文件适用于半导体设备用低温泵的评价。

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