T/QGCML 1407-2023 半导体光伏制造用双套管密封装置
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- 标准类型：综合团体标准
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2023-11-16
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资料介绍
本文件规定了半导体光伏制造用双套管密封装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于半导体光伏制造用双套管密封装置的生产及检验。
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