T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

本文件规定了8 英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。
本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。
注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。