T/CSTM 01003-2023 相变存储器电性能测试方法

本文件规定了相变存储单元器件的电性能测试方法，分为器件性能测试和器件可靠性测试，器件性能测试包括电流-电压特性、存储窗口、置位时间、置位电压、复位时间、复位电压、功耗；器件可靠性测试包括耐久性和数据保持时间。
本文件适用于相变存储单元器件（以下简称器件）。