薄膜材料与薄膜技术

薄膜材料与薄膜技术
作者： 郑伟涛 
出版社：化学工业出版社   
出版日期：2003

本书系统阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本理论和基本知识，重点介绍了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学和物理沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征、对目前广泛研究和应用的几种主要薄膜材料进行了介绍、评论和展望。