DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英绀蜗生产技术规范
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- 标准类型：综合地方标准
- 标准语言：中文版
- 文件类型：PDF文档
- 更新时间：2023-03-14
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资料介绍
本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。