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超大规模集成电路工艺学

  • 文件大小：13722 KB
  • 标准类型：电子信息
  • 标准语言：简体中文
  • 文件类型：PDF版
  • 更新时间：2011-08-12
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资料介绍

超大规模集成电路工艺学
上海交通大学
1987

本书讨论了硅集成电路的工艺原理,包括晶体生长和片子制备,外延介质和多晶硅淀积等。

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