YS/T 954-2014 金砷蒸发料

本标准规定了金砷蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)等内容。
本标准主要适用于半导体芯片制造背金时用的金砷蒸发料。