YS/T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
- 文件大小：
- 标准类型：
- 标准语言：简体中文
- 文件类型：PDF
- 更新时间：2019-01-29
- 下载次数：
- 标签：
资料介绍
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合