YS/T 893-2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材

本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明与合同（订单）等内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。