YS/T 792-2012 单晶炉用碳/碳复合材料坩埚
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- 标准语言:简体中文
- 文件类型:PDF
- 更新时间:2018-12-03
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资料介绍
本标准规定了单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚的要求、试验方法、检测规则及标志、包装、运输、贮存、质量说明书和合同(或订货单)内容。
本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚,也适用于其他高温炉提纯多晶硅和冶炼金属用碳/碳复合材料坩埚。
本标准适用于半导体领域单晶拉制炉用碳/碳复合材料坩埚,也适用于其他高温炉提纯多晶硅和冶炼金属用碳/碳复合材料坩埚。
