YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法

本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的气相色谱测定方法。 本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定范围下限为0.002%。