YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。 本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。