YS/T 27-1992 晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法

本标准规定了应用显微技术，测量在平坦与不平坦的表面上沾有粒径大于5μm的微粒的方法，并统计一定粒径范围内的微粒数量。本标准适用于分析小型电子器件零部件的表面，也适用于检验硅片表面。