YS/T 644-2007 铂钌合金薄膜测定方法 X射线光电子能谱法 测定合金态铂及合金态钌含量

本标准规定了铂钌合金薄膜材料中合金态铂及合金态钌含量的测定方法。
本标准适用于铂钌合金薄膜材料中合金态铂及合金态钌含量的测定。也可适用于铂合金薄膜材料中合金态铂及合金态金属含量的测定。
本标准不适用于单层厚度不大于10nm的层状薄膜。