SJ∕T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
- 文件大小:4.03 MB
- 标准类型:电子信息
- 标准语言:中文版
- 文件类型:PDF文档
- 更新时间:2021-04-12
- 下载次数:
- 标签:
资料介绍
SJ∕T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
标准简介
本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
发布日期: 2015-10-10
实施日期: 2016-04-01
标准简介
本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
发布日期: 2015-10-10
实施日期: 2016-04-01
