SJ 21497-2018 声表面波器件光刻工艺技术要求

本标准规定了声表面波器件光刻工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及声表而波器件光刻工艺的典型工艺流程、各工序技术、检验等详细要求。
本标准适用军用于声表面波器件光刻工艺中的湿法腐蚀方法、干法刻蚀方法、剥离方法。