HG/T 5895-2022 工业用混合气体 硅烷 氮气

本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法，确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。
本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。